光刻設(shè)備“合肥造”邁上新臺(tái)階

2月18日，記者從海恒集團(tuán)獲悉，海恒集團(tuán)園區(qū)企業(yè)自主研發(fā)的國(guó)產(chǎn)12吋前道先進(jìn)工藝涂膠機(jī)順利啟運(yùn)出廠，意味著光刻設(shè)備領(lǐng)域“合肥造”邁上了一個(gè)新臺(tái)階。

近日，海恒集團(tuán)園區(qū)企業(yè)合肥開(kāi)悅半導(dǎo)體有限公司自主研發(fā)的國(guó)產(chǎn)12吋前道先進(jìn)工藝涂膠機(jī)順利啟運(yùn)出廠。開(kāi)悅半導(dǎo)體主要提供半導(dǎo)體前道工藝以及后道先進(jìn)封裝產(chǎn)線所使用的國(guó)產(chǎn)涂膠顯影機(jī)、高速物理清洗機(jī)，同時(shí)也覆蓋芯片制造所需光刻領(lǐng)域設(shè)備的翻新、再制造業(yè)務(wù)。

合肥開(kāi)悅半導(dǎo)體有限公司成立于2016年，致力于設(shè)計(jì)與制造中國(guó)集成電路國(guó)產(chǎn)設(shè)備，并為客戶提供先進(jìn)的集成電路制造工藝解決方案。目前，公司總部位于安徽合肥，并在新加坡、上海、日本設(shè)有子公司，廊坊設(shè)有分公司。

本次開(kāi)悅半導(dǎo)體自主研發(fā)的國(guó)產(chǎn)12吋前道先進(jìn)工藝涂膠機(jī)作為光刻設(shè)備領(lǐng)域不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備，其順利出廠標(biāo)志著企業(yè)在先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域邁出了堅(jiān)實(shí)的一步，開(kāi)悅的全新國(guó)產(chǎn)制造又邁上了一個(gè)新臺(tái)階，也意味著光刻設(shè)備領(lǐng)域“合肥造”實(shí)力在不斷升級(jí)提高。

開(kāi)悅半導(dǎo)體主營(yíng)業(yè)務(wù)是為集成電路制造廠商提供光刻用設(shè)備，2020年公司搬遷至合肥并著手開(kāi)發(fā)國(guó)產(chǎn)涂膠顯影機(jī)。得益于落戶新橋科創(chuàng)示范區(qū)后靠近下游服務(wù)商，開(kāi)悅半導(dǎo)體能夠隨時(shí)把新產(chǎn)品拿到客戶工廠進(jìn)行測(cè)試，再根據(jù)客戶需求進(jìn)行參數(shù)調(diào)整，大大提升了產(chǎn)品的研發(fā)效率。

據(jù)了解，作為半導(dǎo)體行業(yè)的上游企業(yè)，開(kāi)悅半導(dǎo)體搬遷到合肥之后，營(yíng)業(yè)額逐年上升，合肥的軟件、電控以及各項(xiàng)配套設(shè)施都能助力其穩(wěn)定發(fā)展。在安徽經(jīng)濟(jì)社會(huì)加速轉(zhuǎn)型升級(jí)中，未來(lái)合肥開(kāi)悅也將憑借技術(shù)創(chuàng)新，貢獻(xiàn)更多產(chǎn)業(yè)力量。